自動球形針閥，電控氣動，NC

E32 M3 系列（E32M3） 是日本富士金（FUJIKIN） 的高壓、電 - 氣（Electro-Pneumatic）驅(qū)動自動球形針閥，定位為旗艦級精密流量控制，適用于高壓、高溫、低溫、高純氣體等極端工況フジキン。

一、核心參數(shù)（標(biāo)準(zhǔn)型 E32M3）

• ：FUJIKIN (富士金)
• 驅(qū)動方式：電 - 氣（Electro-Pneumatic） 定位器控制
• 閥體材質(zhì)：SUSF316 鍛造不銹鋼（高純級）
• *壓力：49.0 MPa（約 490 公斤，高壓）
• 溫度范圍：-50°C ~ +150°C
• Cv 值范圍：0.0000015 ~ 5.0（微量到大流量）
• 控制精度：遲滯 < 1.5%（Cv < 0.00025 時 < 2%）
• 閥芯：SUS316 + 司太立堆焊（耐磨、長壽命）
• 密封：PTFE 填料 + 氟橡膠 O 形圈（雙重密封）
• 潔凈度：1 級 / 2 級禁油（氧氣 / 半導(dǎo)體）
• ：日本高壓氣體保安法

二、主要子系列（按溫度 / 應(yīng)用）

1. E32M3 (標(biāo)準(zhǔn)型)
   • 溫度：-50°C ~ 150°C
   • 壓力：49 MPa
   • 通用：高純氣體、高壓化工、半導(dǎo)體
2. E32M3H (高溫型)フジキン
   • 溫度：-50°C ~ 500°C
   • 應(yīng)用：高溫氣體、蒸汽、熱流體
3. E32M3C (低溫型)フジキン
   • 溫度：-253°C ~ 150°C
   • 應(yīng)用：LNG、液氮、液氦、低溫冷媒
4. E32M3R4 (氫能源)フジキン
   • 壓力：50 MPa
   • 材質(zhì)：SUS316 Ni28.5%（抗氫脆）
   • 連接：錐螺紋（Cone & Thread）
   • 應(yīng)用：70MPa 加氫站、儲氫罐、氫燃料電池

三、型號規(guī)格（常用）

• E32M3-13PA：Rc 1/8"
• E32M3-13PB：Rc 1/4"
• E32M3-13PC：Rc 3/8"
• E32M3-13PD：Rc 1/2"
• 后綴：
  • -N：常閉 (NC)
  • -O：常開 (NO)
  • -2：2 級禁油
  • -H：高溫
  • -C：低溫

四、與 S1R / C1 系列對比

五、參考

E32M3-13PA-N (標(biāo)準(zhǔn)型，Rc1/8)：

• E32M3H-13PA (高溫型)：
  • +20% ~ 30%
• E32M3C-13PA (低溫型)：
  • +30% ~ 50%
• 貨期：日本原裝，8~12 周

六、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體 / 光伏：高純特種氣體（SiH4, NH3, WF6）
• 氫能 / 新能源：70MPa 加氫站、高壓儲氫
• 航空航天 / 科研：火箭燃料、低溫介質(zhì)、臨界流體
• 化工 / 石油：高壓反應(yīng)、催化劑評價、高溫蒸汽